中國自研EUV光源樣機首度亮相 遭疑技術粗糙恐涉發愛國財
2026/10/16 19:00:00
2026/10/16 19:01:21
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中國半導體要突破極紫外光EUV技術，卻還有一段長路要走！日前中國新創業者、號稱首度亮相EUV光源樣機，宣稱9成以上零件是中國國產，但 中國官媒《解放日報》報導，這套設備仍屬低功率系統，量產還要三到五年，技術實力和募資動機都引發質疑。
中國工業博覽會日前登場，大秀科技肌肉，但在創新科技館上海市展區角落，銀色儀器卻引發高度關注。中國媒體報導宣稱：「（中國）國產EUV光源樣機首秀，（中國）國產化率90%，但量產仍需3至5年」。
中國半導體新創朗道科技旗下朗道燧岩，號稱已開發極紫外光EUV的光源，並且展示微影設備樣機。
EUV光源被形容為EUV曝光機的心臟，更是7奈米以下最先進製程晶片必備之工藝。
朗道科技工作人員：「對於我們來說，能把這個東西做出來，它本身就是一場奇蹟了。」
不過中國解放日報報導，所展出的中國國產EUV樣機屬於低功率光源系統，需要三到五年才能量產，距離實際應用還有長路要走。然而，朗道科技公司成立才兩年多，加上樣機實體相對粗糙簡陋，也沒有提供數據資料，更引發質疑，這回亮相是否涉及新創公司募資「發愛國財」，卻已成功掀起話題。
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